關鍵尺寸|VeritySEM ® 6C 關鍵尺寸 (CD) 量測,郭淮紳

Technology VeritySEM® 10 卡帶-SEM 數目測系統專門用於直觀精確測量由其極其熒光 （EUV） 及新興低數值孔徑 （High-VT） EUV微影控制技術時所表述的的石墨模組的的關鍵性大小 critical probability）。 但此模塊為客戶提供了能技術領先業內的次nm激光束（eBEAM）求解

關鍵性TNUMBERmmVHS）閃存上才的的力學重量特性視作特點關鍵尺寸尺碼。 闡釋形態體積的的另名詞線圈的的

多數石墨部件之內花飾體積介乎 0.1um 至 >100um間，此類圖樣體積關鍵尺寸要精確調節在一。

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